Лед, затем вода, затем пар, так как
При нагреве льда, мы отдаем энергию тепла тем самым поднимаем внутреннюю энергию, поэтом он нагревается, плавится и превращается в воду. Если нагревать воду, то аналогично льду, энергия нагрева, перейдет во внутреннюю энергию воды, вода будет нагреваться пока не закипит и превратится в пар. Поэтому пар обладает большей энергией чем вода, а вода большей чем лед

Пар-Вода-Лёд - от максимальной внутренней энергии - к минимальной. Чем выше температура - тем больше. ))